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特願2017-095458
特開2018-195609
発明の名称：「エッチング方法及びエッチング装置」
発明者：佐藤威友、熊崎祐介、橋詰保
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特許番号： 5339377
登録日： 2013/8/16
発明の名称：「センサ及びセンサの製造方法」
発明者：佐藤威友
登録(日本国)