GaNの光電気化学エッチングに関する研究: 共同研究-サイオクス【実施中】
2019~
自己停止酸化機構を利用した窒化物半導体低損傷加工プロセスの開発とトランジスタ応用: 科学研究費補助金-基盤研究(B)【実施中】
2017~2019
特異構造の結晶科学〜A02-3特異構造を含む異種接合の界面制御と電子デバイス展開: 科学研究費補助金-新学術領域研究【実施中】
2016~2020
省エネルギー社会の実現に資する次世代半導体研究開発(パワーデバイス・システム領域): 文部科学省委託事業-再委託機関【実施中】
2016~2020
III-V族化合物半導体の酸化腐食に関する研究: 共同研究-オルガノ株式会社
2015~2018
窒化物半導体周期的ナノ構造を基盤とした可視光応答型光触媒の開発と人工光合成応用: 科学研究費補助金-挑戦的萌芽研究
2015~2017
絶縁膜物性・界面状態のGaNトランジスタの性能と関係性の研究: 共同研究-住友電気工業株式会社
2016
GaN HEMTのためのプロセス技術と接合界面評価: 共同研究-トヨタ自動車株式会社
2014~2015
低損傷プロセスによる窒化物半導体表面のナノスケール制御と高感度化学センシング: 科学研究費補助金-基盤研究(B)
2013~2015
半導体多孔質構造を利用した機能的ナノ界面の高密度形成と高感度化学センシング技術: 科学研究費補助金-若手研究(A)
2009~2012
化合物半導体配列ナノ構造を基盤とする超接合光吸収体の創成と太陽電池応用: 科学研究費補助金-挑戦的萌芽研究
2009~2010
次世代センサーネットワークの実現に向けた化合物半導体化学センサの開発と高性能化に関する研究: 小澤・吉川記念エレクトロニクス研究助成基金
2008
化合物半導体ナノポーラス構造を基盤とした量子ナノ構造の3次元ネットワーク化技術: 科学研究費補助金-若手研究(B)
2007~2008
化合物半導体ナノ構造の自己組織化形成と高感度化学センサへの応用: 財団法人村田学術振興財団/第22回研究助成
2006
選択的結晶成長による窒化ガリウム系ナノワイヤ・ネットワークの作製: 池谷科学技術振興財団研究助成事業
2006
ギガ・ノード超高密度量子ナノ集積構造の作製と表面制御技術の開発: 科学研究費補助金-若手研究(B)
2004-2005
選択的半導体結晶成長法による量子集積回路作製プロセスの研究開発: ノーステック財団基盤的研究開発育成事業-若手研究補助金
2003
量子集積回路の実現に向けた高性能ナノショットキーゲート電極の開発: 科学研究費補助金-若手研究(B)
2002-2003