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　電気化学プロセスグループでは、半導体表面の電気化学反応を利用した「半導体ナノ加工技術」の開発に取り組んでいます。さらに、作製した高密度ナノ構造の基礎物性を明らかにし、リソグラフィや電極形成などのデバイスプロセス技術を駆使して、窒化物半導体パワーデバイス、高感度化学センサーや高効率エネルギー変換素子へ応用することを目指しています。

　本グループは、北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター／量子知能デバイス研究室（情報科学院・工学部）に所属する佐藤准教授と学生により構成される研究グループです。
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